產品特點

• 532nm 激光

• 單晶和多晶晶圓: 156-166mm

• 設備凈產率: 7500WPH

• 工藝應用: PERC，雙面PERC， IBC

• 設備結構：雙工位轉臺和二維掃描頭

• 晶圓定位：高精度4相機CCD相機陣列，背光照明系統

SolarLase-G3PERC 是自動化高產率量產激光加工設備，用于高效晶硅PERC、雙面PERC，和IBC電池的生產。SolarLase-G3PERC 使用先進的532nm波長激光微加工技術對PERC和IBC電池的背面進行激光開槽（Laser Ablation）。

SolarLase-G3PERC 使用大扭矩轉臺設計把晶圓從上料區快速傳送到加工區以及下料區，達到很高的量產產率（7500WPH）。除了轉臺轉動時間外，設備中激光總是處于繁忙工作狀態，使激光的利用率達到最大化。

SolarLase-G3PERC 使用高精度CCD相機陣列尋找晶圓的邊緣和為晶圓定位，設備控制軟件對激光掃描圖案的大小、位子和角度也相應地進行調整， 使得激光在晶圓上打印的圖案與晶圓的四邊形成一個外觀優美的、均勻和等距離的邊框。晶圓定位精度滿足IBC加工要求。

為了滿足24×7的穩定量產要求，我們選擇花崗巖材料來給設備的光學系統和機械系統提供一個穩定的安裝和工作平臺。SolarLase-G3PERC 滿足 Class-I激光安全標準，確保操作人員的安全。設備的應用軟件中工程師能夠方便地編輯配方，操作員可以簡單地使用配方進行生產。 設備的高效除塵系統把99%以上的加工灰塵清除掉，保證了晶圓的清潔。

SolarLase-G3PERC 還可以根據客戶的特殊要求提供適合您的配置，敬請您聯系我們的銷售部門。