背鈍化工藝可以減少載流少子在晶圓背面的復合，從而提高了晶圓的能量轉換效率。激光銷蝕可應用于高效晶硅PERC電池背面開槽。工藝要點是選擇合適的激光以及激光加工窗口對鈍化層進行開槽。激光把一層很薄的鈍化層銷蝕掉，產生約30-40um寬的銷蝕線槽。電池的背電極由鋁銀漿通過這些銷蝕線槽與硅基材燒結而成，形成良好的電接觸。

工藝特征

• 532nm波長短脈沖激光實施PERC背鈍化開槽

• 燒結后增加了電池片的開路電壓和閉路電流

• 單晶電池片效率提升1.0+%